采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计

• 作者: 孙雯君 成永军 李刚 李得天 王呈祥 韩晓东
• 来源期刊: 中国测试
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 电容薄膜真空规 高灵敏度 宽测量范围
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 测试仪器
• 页码范围: 88-93
• 页数: 6页
• 分类号: TB772|TM934.2
• 字数: 2049字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11857/j.issn.1674-5124.2018090063

摘要

感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性.为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况.分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9％,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8000 Pa区间内的非线性度为3.6％,灵敏度为1.3 fF·Pa–1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	55	149	6.0	9.0
2	成永军	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
3	王呈祥	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	3	6	2.0	2.0
4	韩晓东	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	3	6	2.0	2.0
5	孙雯君	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	16	34	4.0	5.0
6	李刚	兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室	4	6	2.0	2.0