什么是纳米动力学

• 作者: 郭鸣华
• 来源期刊: 当代检察官
• 学科: 工学
• 关键词: 动力学 纳米 机械系统 传动机械 通讯系统 电子设备 微电机 微机械
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 50-50
• 页数: 1页
• 分类号: TP215

摘要

纳米动力学:主要是微机械和微电机,或总称为微型电动机械系统(MEMS),用于有传动机械的微型传感器和执行器、光纤通讯系统,特种电子设备、医疗和诊断仪器等,用的是一种类似于集成电器设计和制造的新工艺。