一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用

• 作者: 王树立
• 来源期刊: 辽宁化工
• 关键词: 光刻胶 专用树脂 生产工艺 应用
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺与装备
• 页码范围: 652-653,657
• 页数: 3页
• 分类号: TQ577.3+5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-0935.2019.07.015

摘要

光刻胶是微电子技术领域关键性基础材料,通常由树脂、感光剂、溶剂及各种添加剂组成.本文介绍了光刻胶专用树脂的生产工艺原理,探讨了光刻胶专用树脂生产工艺流程,总结了光刻胶专用树脂应用情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王树立		2	0	0.0	0.0