高压CO2流体环境电沉积镍的电场和流场分析

• 作者: 张亮 杜全斌 杨杰 王星星 纠永涛 龙伟民
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 高压CO2流体 电沉积镍 深宽比 电力线 流场
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 测试与分析
• 页码范围: 235-239
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2019.04.047

摘要

在高压CO2流体环境条件下,以具有深宽比的MEMS非硅微结构区域为研究对象,利用Matlab软件对电沉积镍过程中的电场和流场进行数值分析.结果表明,深宽比对微结构入口处电场电力线弯曲程度和稠密度有影响,导致入口处的电流密度分布不均,使得微结构中央电力线的密度与其边界处电力线密度的差异变大;具有深宽比结构的微器件,高压CO2流体环境可以提高镍离子的传质速度,进而改善镍离子的扩散传质能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龙伟民	郑州机械研究所有限公司新型钎焊材料与技术国家重点实验室	159	791	14.0	20.0
2	张亮	江苏师范大学机电工程学院	42	195	8.0	12.0
3	杨杰	华北水利水电大学机械学院	45	76	5.0	7.0
4	纠永涛	郑州机械研究所有限公司新型钎焊材料与技术国家重点实验室	13	6	1.0	2.0
5	王星星	华北水利水电大学机械学院	22	29	3.0	4.0
6	杜全斌	河南机电职业学院机电工程学院	7	6	1.0	2.0