钛圆盘阵列增强微测辐射热计太赫兹波吸收特性

• 作者: 牛青辰 王军 苟君 蒋亚东
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 太赫兹 微测辐射热计 伪表面等离子体激元 严格耦合波分析
• 年，卷（期）: 2019,（20）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 292-300
• 页数: 9页
• 字数: 4130字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190902

摘要

提出一种集成在微桥结构中的二维亚波长周期钛(Ti)金属圆盘阵列结构,以增强太赫兹微测辐射热计的吸收率.基于严格耦合波分析方法,建立吸收结构模型,研究了不同结构的Ti圆盘阵列及其在微桥阵列结构中的太赫兹波吸收特性.周期Ti圆盘阵列结构降低了金属的表面等离子体频率,在太赫兹波段激发伪表面等离子体激元并实现共振增强吸收.共振吸收频率由周期、直径等Ti圆盘阵列的结构参数决定,圆盘厚度则对太赫兹波吸收率有重要影响,微桥结构中的谐振腔结构可降低共振频率并增强耦合效率.设计的微桥探测结构以较小的Ti圆盘阵列周期(37μm)实现突破衍射极限的太赫兹波约束,在3.5 THz(波长85.7μm)实现接近90％ 的太赫兹波吸收率,满足太赫兹微测辐射热计小尺寸、高吸收及工艺兼容的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	王军	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	936	14.0	26.0
3	牛青辰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	苟君	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	7	20	1.0	4.0