基于MEMS的镍薄膜加热器催化传感器研究

• 作者: 刘焱 周岩 孙风光 杨培滋
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 镍薄膜加热器 催化传感器 灵敏度 长期稳定性
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3884字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)05-0023-04

摘要

设计了基于微机电系统(MEMS)工艺,以镍薄膜作为加热体的新型催化传感器.通过磁控溅射沉积、刻蚀等工艺制成镍薄膜加热器,并对其进行了稳定化热处理以及防氧化聚合物涂层处理.传感器性能测试结果表明:镍薄膜加热器具有良好的抗高温氧化能力;气氛老化可缩短50％ 的老化时间;甲烷气体浓度与灵敏度呈良好的线性关系;对甲烷的灵敏度约为30 mV/1％Vol;传感器功耗约为150 mW,零点和灵敏度年漂移小于1.5％LEL.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘焱	中国电子科技集团公司第四十九研究所	12	151	4.0	12.0
2	周岩	中国电子科技集团公司第四十九研究所	5	6	1.0	2.0
3	孙风光	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	9	2.0	3.0
4	杨培滋	陆军航空兵军事代表局驻哈尔滨地区军事代表室	2	1	1.0	1.0