基于QPD的二维角位移精密测量传感技术研究

• 作者: 刘洋 王猛 范亚男 陈青山
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二维角位移 四象限光电探测器 LED 精密测量
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 108-112
• 页数: 5页
• 分类号: TG806|TH712
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.08.023

摘要

为解决二维角位移高精度精密测量的问题,研究了一种基于QPD的二维角位移测量方法.以LED作为光源,低暗电流、高灵敏度的四象限光电探测器作为检测元件,采用光学杠杆式的测角方法形成测量系统.分析了光斑大小对测量结果的影响,并搭建高集成实验系统进行验证.测试实验结果表明:测角分辨力达到1",在2mrad量程内,非线性度为0.18％,数据采集与传送延时为250μs.该方法可用于精密光机系统,以便高精度实时监测高速运动元件的二维角运动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈青山		52	113	6.0	8.0
2	刘洋		38	89	4.0	8.0
3	王猛		2	0	0.0	0.0
4	范亚男		1	0	0.0	0.0