液相法在Si基底上沉积非晶碳膜

• 作者: 焦菲 王玉梅 罗清威 邹祥宇
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶碳膜 液相法 摩擦学性能 沉积电压
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺·技术
• 页码范围: 1174-1177
• 页数: 4页
• 分类号: TB232
• 字数: 2438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.027

摘要

液相法以成本低、制备工艺简单等特点成为制备非晶碳膜的热点.然而适合工业化生产的制备工艺参数尚不明确.以Si单晶为基底, 通过液相沉积法在Si表面制备非晶碳膜, 并研究了沉积电压与其摩擦学性能之间的关系.研究结果表明, 在1 800V下所制备的非晶碳膜表面光滑平整、硬度最高.此时非晶碳膜的干摩擦系数最小, 耐磨性最强, 具有良好的摩擦学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉梅	陕西理工大学材料科学与工程学院	24	77	5.0	8.0
2	邹祥宇	陕西理工大学材料科学与工程学院	20	15	2.0	3.0
3	罗清威	陕西理工大学材料科学与工程学院	19	16	2.0	3.0
4	焦菲	陕西理工大学材料科学与工程学院	3	3	1.0	1.0