基于电射流沉积的TiO2薄膜制备及其摩擦特性研究

• 作者: 孙婕 张亮亮 李学木 邓建新 鲁洋
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电射流沉积 TiO2薄膜 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4|TH140.7
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2019.07.003

摘要

采用电射流沉积技术在316L不锈钢基体上沉积二氧化钛(TiO2)薄膜,并对薄膜进行高温烧结处理;在无润滑条件下,对薄膜进行往复式摩擦磨损试验,研究了温度对薄膜晶相及形貌变化的影响及TiO2薄膜的摩擦学性能.结果 表明:在电射流沉积条件为电源电压3.8 ～4.lkV、高度4mm、流量4μl/min时,可以制得均匀的TiO2薄膜;随着温度升高,TiO2晶体结构逐渐由锐钛相转变为金红石相;TiO2薄膜能有效提高316L不锈钢表面的减摩性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓建新		164	2357	25.0	39.0
2	张亮亮		7	35	3.0	5.0
3	李学木		6	5	1.0	2.0
4	孙婕		3	4	1.0	2.0
5	鲁洋		2	4	1.0	2.0