新型绝缘体上硅静态随机存储器单元总剂量效应

• 作者: 何伟伟 常永伟 王本艳 王硕 葛浩 陈静
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 静态随机存储器单元 总剂量辐射效应 绝缘体上硅 体接触
• 年，卷（期）: 2019,（16）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 316-324
• 页数: 9页
• 字数: 4200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190405

摘要

静态随机存储器作为现代数字电路系统中常见且重要的高速存储模块,对于提升电子系统性能具有重要作用.到目前为止,关于静态随机存储器单元总剂量辐射效应的数据依然有待补充完善.本文采用130 nm绝缘体上硅工艺,设计制备了一种基于L型栅体接触场效应晶体管器件的6晶体管静态随机存储器单元.该L型栅体接触器件遵循静态随机存储器单元中心对称的版图特点,使得存储单元面积相比于采用同器件尺寸的T型栅体接触器件的静态随机存储器单元减小约22％.文中对比研究了L型栅体接触器件与其他场效应晶体管之间的电学性能差异,以及基于不同场效应晶体管静态随机存储器单元的漏电流和读状态下静态噪声容限随辐射总剂量增加的变化规律.测试结果表明,L型栅体接触器件与T型栅体接触器件的器件性能接近,但前者具有面积更小的优势;同时基于L型栅体接触场效应晶体管的静态随机存储器单元的基本电学性能以及抗总剂量辐射效应均优于传统基于浮体场效应晶体管的静态随机存储器单元,因而具有稳定可靠的实用价值.