薄膜热电偶的研究进展

• 作者: 张军战 张颖 杨迪 王伟超
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 温度测量 热电势 Seebeck系数
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 表面强化及功能化
• 页码范围: 139-147
• 页数: 9页
• 分类号: TH811
• 字数: 3828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.10.017

摘要

现代科学技术对各种场合下局域温度的准确测量提出了新的要求,极大地促进了温度传感器的发展.薄膜热电偶因具有无源、响应时间短、精确度高以及对测试环境几乎无影响等优点,在温度测量领域具有广阔的应用前景.对薄膜热电偶近年来的研究进展与热点进行了综述.首先简单介绍了以不同材料为基底时,薄膜热电偶的结构.然后分别介绍了应用于航空发动机热端部件高温测量的金属合金类、陶瓷类和复合类薄膜热电偶及其常用的电极材料.讨论了薄膜厚度、退火处理、电极薄膜类型、气氛和掺杂等工艺对薄膜热电偶热电势、Seebeck系数、耐高温能力和电极材料微观结构等方面的影响,将近年来的典型研究成果进行了汇总,并阐述了陶瓷类薄膜热电偶应用于航空发动机中温度监测的优势.此外,分析讨论了应用于局域二维温度场测量的阵列型薄膜热电偶的发展、结构优化设计、制备工艺研究与改进以及实际测温场合中的布局.最后,对薄膜热电偶在相关应用领域的研究和发展方向进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张颖	西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	71	240	9.0	11.0
2	张军战	西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	52	232	9.0	13.0
3	王伟超	西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	5	5	1.0	2.0
4	杨迪	西安建筑科技大学材料科学与工程学院功能材料研究所	2	1	1.0	1.0