基于静电喷雾技术的玻璃浆料图案化沉积探究

• 作者: 张瑶 王欢
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电喷雾沉积 规律探究 图案化沉积
• 年，卷（期）: 2019,（18）
• 所属期刊栏目: 信息技术及图像处理
• 页码范围: 154-157
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.1902876

摘要

在玻璃浆料封装过程中,其中间层玻璃浆料层的图案形状、厚度以及宽度等结构参数往往会对其键合强度产生很大影响,从而影响其最终封装效果.为了进一步探究可控参数(如沉积次数)等对最终沉积结果的影响,通过精密运动平台的控制卡控制精密运动平台按照预设轨迹进行运动,从而控制玻璃浆料雾化沉积于收集板上形成相应图案,针对沉积次数与玻璃浆料层的表面形貌、线宽以及厚度等结构参数之间的关系规律进行探究.实验结果表明,随着沉积次数的增加,玻璃浆料层表面形貌致密程度增加,且线宽同时增加,并且得出沉积次数与沉积厚度之间的规律,公式为y≈-0.009 3x2+ 2.35x+3.233 3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王欢		5	0	0.0	0.0
2	张瑶		2	0	0.0	0.0