Ga液滴沉积速率对GaAs/GaAs(001) 量子双环形貌的影响

• 作者: 丁召 张振东 李志宏 汤佳伟 王一 罗子江 郭祥 马明明 黄延彬
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 同心量子双环 团簇扩散动力学 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2019,（18）
• 所属期刊栏目: 原子和分子物理学
• 页码范围: 102-107
• 页数: 6页
• 字数: 3651字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190615

摘要

采用液滴外延法在GaAs(001)衬底上制备同心量子双环(concentric quantum double rings,CQDRs),利用原子力显微镜表征其表面形貌,并研究Ga液滴沉积速率对CQDRs的影响.研究结果发现,随着Ga液滴沉积速率的增加,CQDRs的密度增加,内外环半径均降低.根据成核理论中最大团簇密度和Ga液滴沉积速率之间的关系拟合出临界成核原子数目为5,表明在Ga液滴形成阶段时稳定的Ga原子晶核至少包含5个Ga原子;根据成核理论和拟合结果绘制成核过程状态转化图以深入理解Ga液滴形成过程.相关研究结果对液滴外延法制备密度可控的GaAs同心量子双环具有一定的指导意义.