浅谈显影机的维护与保养

• 作者: 杜忠意 熊谟勇
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 显影机 Roller Filter 显影Chamber 搬送Conveyor
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 综合:探索与发现
• 页码范围: 233-234
• 页数: 2页
• 分类号: TN94
• 字数: 1392字
• 语种: 中文

摘要

显影机作为液晶面板生产制造中的重要设备,显影室洁净度及显影效果对产品工艺及良率影响非常重要,定期保养显影机设备各机构部位,不仅可以保证设备的动作正确及工艺正常,确保显影机质量符合要求,还能提升设备的使用寿命,节约人力物力成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜忠意		2	0	0.0	0.0
2	熊谟勇		2	0	0.0	0.0