熔石英表面激光平滑中扫描速度对粗糙度的影响规律

• 作者: 刘卫国 刘朋朋 周顺 李亚国
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 激光平滑 熔石英 有限元分析 扫描速度 温度场 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 表面质量控制及检测
• 页码范围: 316-322
• 页数: 7页
• 分类号: V261.8
• 字数: 3166字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.08.042

摘要

目的 研究激光平滑光学元件的工艺,探索使用CW(连续)CO2激光器对熔石英光学元件表面进行平滑处理时,当激光束功率、束斑尺寸一定的情况下,不同的扫描速度对平滑后熔石英元件表面粗糙度的影响规律.方法 用仿真结合实验的方式进行了研究.使用有限元仿真模型对激光功率为25 W,作用斑点为短轴2 mm、长轴3 mm的椭圆斑的激光加工模型进行了仿真,得到了不同扫描速度下激光束作用于熔石英表面的温度场及对应的稳定温度.通过定点照射实验验证了温度仿真结果的准确性,并进行了扫描速度为0.04、0.1、0.2、0.35、0.5 mm/s的单因素实验,使用原子力显微镜检测平滑实验前后的熔石英表面粗糙度,得到了粗糙度与激光扫描速度之间的关系.结果 激光功率为25 W时,5种扫描速度对应的稳定温度都分布在熔石英材料的熔点以上.5种扫描速度下平滑后的熔石英表面粗糙度都明显降低,在扫描速度为0.1 mm/s的情况下,取得了将熔石英表面粗糙度由初始的62.55 nm降低至6.17 nm的平滑效果.结论 激光平滑过程中,当激光功率、激光斑尺寸一定时,存在一个最佳的扫描速度,可以使加工表面的粗糙度降低至光学表面的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘卫国	西安工业大学光电工程系	112	575	12.0	17.0
2	周顺	西安工业大学光电工程系	32	113	6.0	8.0
3	刘朋朋	西安工业大学光电工程系	1	0	0.0	0.0
7	李亚国	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	0	0.0	0.0