自标定薄膜温度传感器的研制与标定

• 作者: 丁炯 叶树亮 杨遂军 陈柔茹
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜热电偶 自标定 温度外推 有限元仿真
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 114-116,124
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)04-0114-03

摘要

由于尺寸小,使用常规热电偶静态标定方法标定薄膜热电偶时,在标定过程与使用过程中,传感器和补偿导线上的温度梯度分布不一致,使薄膜热电偶的热电势也不同,影响其测温准确性.为解决这一问题,设计了集薄膜金—铂热电偶和薄膜铂电阻器于一体的自标定薄膜温度传感器及其标定系统,使用电子印刷法制备传感器,采用激光加热技术模拟其使用时的温度分布,通过有限元仿真分析其温度分布规律,基于温度外推实现薄膜热电偶静态特性自标定.结果显示,传感器中的薄膜热电偶在室温到300℃内的塞贝克系数为5.3～7.6μV/ ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶树亮	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	106	396	11.0	14.0
2	杨遂军	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	42	132	6.0	9.0
3	丁炯	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	14	36	3.0	5.0
4	陈柔茹	中国计量大学工业与商贸计量技术研究所	1	1	1.0	1.0