光频梳频域干涉测距主要参数分析 及一种改进的数据处理方法

• 作者: 张福民 曲兴华 王金栋 陈嘉伟
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 光学频率梳 频域干涉 光谱干涉 绝对距离测量
• 年，卷（期）: 2019,（19）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 33-43
• 页数: 11页
• 字数: 5867字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20190836

摘要

本文对光学频率梳频域干涉测距中的测距范围、分辨力、非模糊范围等的影响因素进行了分析,并说明了传统傅里叶变换法的局限性和系统误差产生原因;提出了一种等频率间隔重采样数据处理方法,该方法基于三次样条插值,修正了傅里叶变换法因频率量不等间隔造成的误差;在此基础上提出峰值位置拟合算法,解决了包络随距离展宽的问题.模拟光谱仪数据并使用算法处理,仿真结果表明系统误差小于0.2μm,且可将测量范围扩展至周期内任意位置.最后搭建经典Michelson测距系统并进行了绝对距离测量实验,将测量结果与干涉仪测量值进行对比,达到了任意位置3μm以下的误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲兴华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	131	1717	25.0	35.0
2	张福民	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	66	612	15.0	23.0
3	王金栋	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	0	0.0	0.0
4	陈嘉伟	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	0	0.0	0.0