硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法

• 作者: 吴佐飞 田雷 郭玉刚
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性腐蚀 削角腐蚀 凸角补偿 过载保护
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1779字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)03-0025-03

摘要

针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验.通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构.该方法应用于压力传感器芯片的过载保护结构设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田雷	中国电子科技集团公司第四十九研究所	15	52	5.0	6.0
2	吴佐飞	中国电子科技集团公司第四十九研究所	7	13	2.0	3.0
3	郭玉刚		1	0	0.0	0.0