采用化学气相沉积方法制备纯净的氧化亚铜

• 作者: 潘冠福
• 来源期刊: 当代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 关键词:氧化亚铜 脉冲热蒸发化学气相沉积(PSE-CVD) XRD SEM XPS
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 1704-1706,1710
• 页数: 4页
• 分类号: TQ115
• 字数: 1972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0460.2019.08.019

摘要

采用自行搭建的脉冲热蒸发化学气相沉积(PSE-CVD)系统,制备了薄膜状的氧化亚铜样品.通过使用XRD、SEM和XPS三种检测手段分别从晶相鉴别、微观特征和元素构成的方面对沉积的样品进行了表征.结果证实脉冲热蒸发化学气相沉积法能够制备出高纯度的氧化亚铜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘冠福		3	0	0.0	0.0