空气电容电压法测试电阻率的研究

• 作者: 张佳磊
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 耗尽层 电容 电压
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 字数: 2605字
• 语种: 中文

摘要

本文详细地介绍了空气电容电压法的设备结构,测试原理和应用技术.空气电容电压测试方法能与C-V法进行匹配,较汞探针电容电压法接触式测试具有高效,不损伤硅片表面的优点.总结了电容电压法的应用技术和需要注意的事项.空气电容电压法已逐步在测量硅外延电阻率领域应用,在监控硅外延片在生产过程中电阻率的稳定性、监控外延层生长质量和降低企业成本方面起到了重要的作用.