硅基BCB工艺X波段发夹型带通滤波器的实现

• 作者: 张伟博 徐高卫 王文华 罗乐
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 带通滤波器 发夹型 苯并环丁烯 高频结构仿真器 X波段
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 89-91,95
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 1527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)03-0089-03

摘要

设计了发夹型微带线带通滤波器,并通过电磁仿真软件高频结构仿真器(HFSS)进行优化.以高阻硅为衬底,以大厚度低损耗因子的苯并环丁烯(BCB)为介质,通过MEMS加工技术制作了中心频率8.6 GHz、带宽为9％的X波段带通滤波器样品.给出了详细的工艺流程,并就关键步骤进行介绍.给出了仿真结果与测试结果的对比,测试结果与仿真结果基本相符,制得的滤波器具有良好的传输性能,可以满足8.2～9.0 GHz频率范围内的通信要求,表明提出的设计方法合理,可实现工程应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文华	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	39	842	14.0	28.0
5	罗乐	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	42	263	9.0	14.0
6	徐高卫	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	10	39	4.0	6.0
7	张伟博	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0