基于STM32离子注入机剂量检测控制器的设计

• 作者: 刘辉 周志英 王新辉 谢明华
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: STM32微控制器 离子注入 剂量检测与控制 波形发生器
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 控制技术
• 页码范围: 80-84
• 页数: 5页
• 分类号: TP273.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2019.09.018

摘要

设计了一种基于STM 32F407微处理器的离子注入机剂量检测控制器,首先介绍了剂量控制器的整体设计和工作原理及如何实现离子束流精确检测、按设定的剂量均匀地注入到晶片表面,然后对控制器的电流／电压变换、峰值检测、校准电流源、模／数转换等硬件电路设计和控制软件设计作了详细的介绍;实验结果表明该控制器实现了大范围束流的快速量程切换,量程切换时间达到1 ms以上,束流测量精度小于0.4％,最小量程低至2 μA,测量漂移精度小于0.3％,该控制器结构简单,工作稳定可靠,有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王新辉	长沙大学电子信息与电气工程学院	30	110	5.0	9.0
2	刘辉	长沙大学电子信息与电气工程学院	17	51	3.0	6.0
3	谢明华	长沙大学电子信息与电气工程学院	11	14	2.0	3.0
4	周志英	长沙大学电子信息与电气工程学院	5	6	2.0	2.0