微电子加工行业含铜废硝酸处理工艺研究

• 作者: 古月圆 吴丹丹 吴小龙 吴旭 唐文 王小赫 王梨 王莹 贺明 黄梦茹 黄莉莉
• 来源期刊: 中国资源综合利用
• 学科: 工学
• 关键词: 含铜废酸 电沉积 废水处理
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 12-16
• 页数: 5页
• 分类号: TQ131.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-9500.2019.01.005

摘要

为了解决微电子加工行业产生的含铜废酸液的资源回收问题,笔者研究了含铜废酸液中铜的电沉积过程.同时,分析了不同电流密度与电压下电沉积铜的去除率、能耗和沉积层质量,讨论了影响该种废液沉积的各种因素.结果表明,较小的电流密度下,铜的沉积效果最好,铜的去除率可达98％,为了提升铜的沉积效果,需要投加添加剂抑制硝酸根的还原反应,调整和监控溶液pH.