大气压CO2/Ar混合气体射频放电光学特性研究

• 作者: 严萍 孙昊 张凯 张帅 邵涛 高远
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 大气压射频放电 调制频率 占空比 光谱强度 电子激发温度
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 高电压与放电等离子体
• 页码范围: 3280-3287
• 页数: 8页
• 分类号: O531
• 语种: 中文
• DOI: 10.13334/j.0258-8013.pcsee.182369

摘要

脉冲调制射频具有调制频率、占空比、输入功率等多种可调参数,可以较大范围地调节放电等离子体参数,因此其放电特性与传统交流或直流放电相比具有独特的特点.该文研究在大气压条件下13.56MHz射频电源系统激励的CO2/Ar气体放电光学特性,主要考察了不同调制参数以及气体组分对等离子体羽流、发射光谱强度以及电子激发温度的影响.研究结果表明,改变射频调制参数可以明显调控上述光学特性:增加输入功率、占空比,或者降低调制频率和CO2含量,可以增大等离子体羽流长度和电子激发温度;其光谱主要包含OH(A→X)、N2(C→B)、Ar(4p→4s)、O(3p→3s)、C(1p-1s)、C2 swan谱带等,且均随着输入功率的增加和CO2含量的降低而明显增强.所做研究为射频放电等离子体技术提升CO2资源化利用效率提供更多的选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严萍	中国科学院电工研究所	191	2402	27.0	36.0
2	张凯	中国科学院电工研究所	105	1451	21.0	34.0
3	孙昊	中国科学院电工研究所	21	73	5.0	8.0
4	张帅	中国科学院电工研究所	58	363	8.0	18.0
5	邵涛	中国科学院电工研究所	68	811	17.0	26.0
6	高远	中国科学院电工研究所	16	67	3.0	8.0