基于矢量波像差理论的两反系统装配失调解算方法

• 作者: 丁晓宇 刘检华 周军 盛忠 郭攀
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 两反系统 矢量波像差 计算机辅助装调
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 311-319
• 页数: 9页
• 分类号: TH743
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201939.0722002

摘要

以矢量波像差理论中的三级像差理论为基础,提出了一种两反系统装配失调量解算方法.该方法仅采用轴上视场波前像差系数建立失调量解算模型,然后基于球差系数解算间隔误差,并基于彗差和像散系数解算偏心和倾斜误差,大幅提高了解算精度和效率.以某一两反光学系统为例,利用光学设计软件Zemax进行模拟装调,系统轴上视场失调像差系数均减小到101数量级,失调误差均校正到10-5数量级,达到了良好的装调效果.最后,利用该失调量解算模型指导两反光学系统的装调,失调量解算精度及装调精度达到了使用要求.Zemax模拟装调结果和实际装调效果均证明了所提方法的正确性.