叉指换能器形状对声表面波气体传感器谐振频率的影响

• 作者: 曹艳
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: SAW气体传感器 叉指换能器 谐振频率
• 年，卷（期）: 2019,（23）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 字数: 2561字
• 语种: 中文

摘要

声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量.声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景.文章分析研究了不同敷金比和不同电极厚度对器件性能的影响,实验表明敷金比和电极厚度越大,沉积效应就越显著,器件性能受其影响就越严重,因此,在设计、制造声表面波器件时需要着重考虑这两个因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹艳		8	19	1.0	4.0