对非晶硅薄膜进行快速磷扩散以获得本征薄层异质结

• 作者: 张航 徐甲然 杨秀钰 陈吉堃 陈梦 陈诺夫 陶泉丽
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 本征薄层异质结( HIT)太阳能电池 非晶硅薄膜 磁控溅射 p-n结 快速热扩散
• 年，卷（期）: 2019,（20）
• 所属期刊栏目: 无极非金属及其复合材料
• 页码范围: 3353-3357
• 页数: 5页
• 分类号: O475|TM914.4+1
• 字数: 5131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/cldb.18090144

摘要

本征薄层异质结(HIT)太阳能电池具有优异的性能,包括效率高、成本低、稳定性好、制备温度低等.本研究利用磁控溅射技术在p型单晶硅(p-c-Si)衬底上制备一定厚度的本征非晶硅薄膜(i-a-Si),以磷纸为扩散源,通过快速热扩散(RTD)方法进行扩散得到具有p-n结的掺杂非晶硅层(n+-a-Si),最终得到n+-a-Si/i-a-Si/c-Si的异质结结构.系统地研究了扩散过程对a-Si膜(包括i-a-Si和n+-a-Si)晶化程度以及p-n结深度的影响,利用拉曼光谱(Raman)、X射线衍射(XRD)仪、台阶仪、扫描电镜(SEM)等对a-Si膜进行表征,并利用金相显微镜测量p-n结(采用磨角染色法染色)深度,从而获得制备p-n结的最佳扩散温度和时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈诺夫	华北电力大学可再生能源学院	22	33	3.0	4.0
2	陶泉丽	华北电力大学可再生能源学院	10	13	2.0	3.0
3	张航	华北电力大学可再生能源学院	6	4	2.0	2.0
4	陈吉堃	北京科技大学材料科学与工程学院	11	16	2.0	3.0
5	陈梦	华北电力大学可再生能源学院	7	19	2.0	4.0
6	杨秀钰	华北电力大学可再生能源学院	4	2	1.0	1.0
7	徐甲然	华北电力大学可再生能源学院	4	2	1.0	1.0