旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响研究

• 作者: 刘军山 刘哲 王泽龙 赵欣悦
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚丙烯酸 旋涂转速 厚度 均匀性 牺牲层
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 80-82
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1143字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2019.10.026

摘要

研究了旋涂转速对于聚丙烯酸薄膜性能的影响,建立了旋涂转速与聚丙烯酸薄膜厚度及均匀性的关系.当旋涂转速由1000 r/min逐渐提高到5000 r/min时,聚丙烯酸薄膜的厚度由0.976μm逐渐减小到了0.394μm,薄膜厚度的标准偏差由0.022μm逐渐减小到了0.008μm.此外,基于光刻工艺在旋涂的聚丙烯酸薄膜表面成功制作了多种金图形,验证了聚丙烯酸薄膜作为水溶性牺牲层与光刻工艺的兼容性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军山	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	43	225	8.0	14.0
2	王泽龙	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	2	0	0.0	0.0
3	刘哲	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	7	60	3.0	7.0
4	赵欣悦	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	0	0.0	0.0