柔性Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜的高温铁电特性

• 作者: 吉彦达 张泽霖 时鑫娜 李敏 杨浩 樊济宇
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 柔性薄膜 耐高温 铁电性
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 223-228
• 页数: 6页
• 字数: 2510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20181967

摘要

随着柔性电子产品的迅速发展,具有优异铁电和压电性的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜在柔性的非易失性存储器、传感器和制动器等器件中有广泛的应用前景.同时,由于外部环境越来越复杂,具有高温稳定特性的材料和器件受到越来越多的关注.本文在耐高温的二维层状氟晶云母衬底上,用脉冲激光沉积技术制备出外延的PZT薄膜,并通过机械剥离的方法,得到柔性的外延PZT薄膜.研究了Pt/PZT/SRO异质结的铁电和压电性及其高温特性,发现样品表现出优越的铁电性,剩余极化强度(Pr)高达65μC/cm2,在弯曲104次后其铁电性基本保持不变,且样品在275℃ 高温时仍然保持良好的铁电性.本文为柔性PZT薄膜在航空航天器件中的应用提供了实验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨浩	南京航空航天大学理学院	42	271	8.0	15.0
2	李敏	南京航空航天大学理学院	45	304	9.0	16.0
3	樊济宇	南京航空航天大学理学院	6	1	1.0	1.0
4	吉彦达	南京航空航天大学理学院	4	1	1.0	1.0
5	时鑫娜	南京航空航天大学理学院	2	1	1.0	1.0
6	张泽霖	南京航空航天大学理学院	2	2	1.0	1.0