940nm垂直腔面发射激光器的设计及制备

• 作者: 于洪岩 吕朝晨 周天宝 周广正 夏宇 尧舜 康联鸿 张杨 张红梅 王智勇 王青 程立文 董国亮 郎陆广
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 分布式布拉格反射镜 量子阱 金属有机化合物气相沉积
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 123-129
• 页数: 7页
• 字数: 3193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.68.20181822

摘要

利用PICS3D计算得到InGaAs/GaAsP应变补偿量子阱的增益特性,得到量子阱的各项参数,再通过传输矩阵理论和TFCalc膜系设计软件分别仿真出上下分布式布拉格反射镜的白光反射谱.采用金属有机化合物气相沉积技术外延生长了垂直腔面发射激光器结构,之后通过干法刻蚀、湿法氧化以及金属电极等芯片技术制备得到8μm氧化孔径的VCSEL芯片.最终,测试得到其光电特性实现室温下阈值电流和斜效率分别为0.95 mA和0.96 W/A,在6 mA电流和2V电压下输出功率达到4.75 mW,并测试了VCSEL的高温特性.