多晶硅原辅料中碳杂质的分析

• 作者: 张新红
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 碳杂质
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 83-84
• 页数: 2页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.01.030

摘要

碳杂质是多晶硅产品的重要杂质之一.为了更好的控制多晶硅产品中的碳杂质,需要明确碳杂质在生产中的分布及转化原理,寻找控制产品中碳杂质的途径.通过分析多晶硅生产中原辅料中碳杂质的来源和控制方式,进而控制产品中碳杂质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新红		3	1	1.0	1.0