特高压晶闸管径向变掺杂新技术

• 作者: 吴飞鸟
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 径向变掺杂 压降 流通能力
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 材料:生产与工艺
• 页码范围: 28-29
• 页数: 2页
• 分类号: TN6
• 字数: 2043字
• 语种: 中文

摘要

分析了特高压晶闸管的体内耐压及双负角造型下表面耐压机理.基于台面减薄工艺发展了径向变掺杂技术.该技术在芯片不降低阻断电压前提下厚度极薄化,制造并测试了传统平面结扩散及采用径向变掺杂技术的样品,测试结果显示,采用径向变掺杂技术的样品压降、流通能力及各动态参数均有很大的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴飞鸟		6	6	1.0	2.0