xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的横向压电特性

• 作者: 孙科学 常月欣 成谢锋
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频磁控溅射沉积 薄膜 有效横向压电特性 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2019,（14）
• 所属期刊栏目: 无机非金属及其复合材料
• 页码范围: 2299-2304
• 页数: 6页
• 分类号: TB34|TB79|O426.4
• 字数: 4613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/cldb.18050105

摘要

近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究.有效横向压电系数(e31 f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBilnO3-(1-x) PbTiO3薄膜的有效横向压电系数.在优化xBilnO3-(1-x) PbTiO3薄膜的基础上,通过多层悬臂梁研究xBilnO3-(1-x) PbTiO3薄膜的有效横向压电系数,当压电薄膜悬臂梁在交变电压作用下产生弯曲振动时,利用激光多普勒测振仪测量多层悬臂梁自由端的振动振幅,并根据悬臂梁法评估横向压电系数的基本原理,计算薄膜的有效横向压电系数,进而研究xBilnO3-(1-x) PbTiO3薄膜的横向压电性能.通过调控La的掺量,可优化压电薄膜的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成谢锋	南京邮电大学电子与光学工程学院	79	608	14.0	20.0
5	孙科学	南京邮电大学电子与光学工程学院	47	197	7.0	12.0
9	常月欣	南京邮电大学电子与光学工程学院	2	0	0.0	0.0