多晶硅无定型硅粉形成原因及控制

• 作者: 宋张佐
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 还原炉 无定型硅粉 雾化
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: T341
• 字数: 2144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.01.004

摘要

改良西门子法多晶硅生产过程中,若还原过程控制不当,会产生影响产品品质及系统运行的无定型硅粉.通过对还原过程温度控制、物料配比、二氯二氢硅含量、炉筒水温、尾气管结硅及换热情况等多方面因素研究,分析了无定型硅粉形成原因,提出了相关控制措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋张佐		3	0	0.0	0.0