多晶硅生产质量控制探讨

• 作者: 张新红 杨丞杰
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 质量控制 硅芯氧化
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2019.01.002

摘要

在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒.围绕还原生产过程中各个控制环节,提出如何提高多晶硅产品质量的措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新红		3	1	1.0	1.0