PLC与触摸屏在磁控溅射镀膜机中的应用

• 作者: 刘正文 罗毅彪 罗雨 金涛斌
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 太阳能 磁控溅射镀膜机 机电一体化 PLC 触摸屏
• 年，卷（期）: 2019,（26）
• 所属期刊栏目: 装备应用与研究
• 页码范围: 30-31
• 页数: 2页
• 字数: 1593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0797.2019.26.016

摘要

传统磁控溅射镀膜机控制系统主要由单片机、继电器控制构成,操作过程主要依靠人工完成,效率低,且不具备安全互锁、数据采集等功能.现研制的自动磁控溅射镀膜设备以欧姆龙PLC为主控制器,配合MCGS触摸屏实现了磁控溅射镀膜工艺的自动化控制,磁控溅射控制过程采用流程控制算法,整个控制系统安全可靠,具备安全互锁、数据采集、故障报警、参数更改等功能,实现了镀膜工艺的自动化生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗雨	北京石油化工学院机械工程学院	21	55	5.0	6.0
2	刘正文	北京石油化工学院机械工程学院	8	1	1.0	1.0
3	罗毅彪	北京石油化工学院机械工程学院	2	0	0.0	0.0
4	金涛斌		3	0	0.0	0.0