CrAlSiN纳米复合涂层的制备与组织结构表征

• 作者: 孙帅 王志超 王政权 王菁 范其香
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 高功率脉冲磁控溅射技术 纳米复合CrAlSiN涂层 相结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 创新思维
• 页码范围: 59,62-63
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.15913/j.cnki.kjycx.2019.02.059

摘要

采用Cr靶、Si靶和Al靶作为靶材,利用高功率脉冲磁控溅射系统在304不锈钢和单晶硅片(100)基片表面沉积CrAlSiN纳米复合涂层,并测定其显微组织结构和力学性能.结果 表明,该纳米涂层的主要相结构为单一的fcc-(Cr,Al)相,结构致密,与基体的结合力可达25N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王菁	天津职业技术师范大学机械工程学院	9	15	2.0	3.0
2	范其香	天津职业技术师范大学机械工程学院	12	2	1.0	1.0
3	王政权	天津职业技术师范大学机械工程学院	2	1	1.0	1.0
4	王志超	天津职业技术师范大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0
5	孙帅	天津职业技术师范大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0