浅谈快速热处理工艺及其温度检测与控制

• 作者: 曹艳
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 快速热处理 集成电路制造工艺 温度传感器
• 年，卷（期）: 2019,（17）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 104-105
• 页数: 2页
• 字数: 2213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2019.17.043

摘要

文章针对工艺过程中瞬时温度的检测和控制,结合测温实验从温度传感器、腔体结构、加热源几个方面分析了快速热处理设备的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹艳		8	19	1.0	4.0