基于三菱电机控制系统控制提升研磨带对面板表面研磨的效率

• 作者: 毛思遥 王广兴
• 来源期刊: 数字化用户
• 关键词: 研磨带 研磨效率 GAP 损耗补偿
• 年，卷（期）: 2019,（43）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 226
• 页数: 1页
• 字数: 1869字
• 语种: 中文

摘要

本次研究通过对研磨带进行GAP损耗补偿,改变设备研磨带使用量的上下限,从而达到降低研磨带更换频率的目的,最终实现提升研磨带利用率,节约经济成本,希望本文的研究能为研磨工艺积累宝贵的经验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛思遥		5	0	0.0	0.0
2	王广兴		5	0	0.0	0.0