一种单面无极激励石英晶体谐振频率检测系统

• 作者: 卢阳 司士辉 廖玉枝 杜明
• 来源期刊: 通信电源技术
• 关键词: 单面无极石英晶体微天平 DDS 相敏检波 电导率 酸刻蚀
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研制开发
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 字数: 1242字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19399/j.cnki.tpt.2019.05.003

摘要

采用DDS AD9851模块,以单片机为控制核心,设计可产生调频稳幅高精度正弦波的信号发生器,并以此为激励源,设计了一种单面无极石英晶体谐振的扫频检测系统.以8 MHz为对象,研究单面无极石英晶体在不同条件下的振荡规律,选择最优激励条件:幅度15 V,无线激励距离1 mm,激励面积20 mm2.为了提高谐振频率检测接收信号的信噪比,采用相敏检波方案.仪器性能显示,QCM的频率变化与KCl电导率呈线性相关,QCM对的氢氟酸刻蚀质量响应可达到0.1 ng级别.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	司士辉	中南大学化学化工学院	74	536	12.0	18.0
2	廖玉枝	中南大学化学化工学院	5	0	0.0	0.0
3	卢阳	中南大学化学化工学院	5	1	1.0	1.0
4	杜明	中南大学化学化工学院	3	0	0.0	0.0