多晶硅还原炉产能影响因素分析及提升措施

• 作者: 宋张佐
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 化学
• 关键词: 多晶硅 还原炉 产能 措施
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 页码范围: 143-144
• 页数: 2页
• 分类号: O613.72
• 字数: 1917字
• 语种: 中文

摘要

三氯氢硅还原是改良西门子法生产多晶硅的关键步骤,还原炉的产能能否达到设计甚至超出设计水平,对企业达产达标,降低成本,产品质量的稳定有很大影响.文章通过分析影响还原炉产能因素并提出了提升措施.

作者信息

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1	宋张佐		3	0	0.0	0.0