新型CFC结构对PECVD膜层clean性能提升的研究

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篇名	新型CFC结构对PECVD膜层clean性能提升的研究
来源期刊	电子世界	学科
关键词
年，卷（期）	2019,（9）	所属期刊栏目	探索与观察
研究方向		页码范围	26-27
页数	2页	分类号
字数	1538字	语种	中文
DOI