直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

• 作者: 唐凯
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉硅单晶炉 异型 加热器 设备
• 年，卷（期）: 2019,（28）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 181
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 1806字
• 语种: 中文

摘要

传统直拉硅单晶炉采用普通加热器支持运作,随着时代发展,普通加热器对应的固液界面温度梯度无法满足需求,故提出采用异型加热器代替普通加热器.但采用异型加热器其应力增大,本文分析直拉硅单晶炉中异型加热器的应用,通过试验对比,发现采用一加热器后,功率显著降低,拉晶速度突出,设备运行稳定,整体效益理想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐凯		2	1	1.0	1.0