高纯电子特气六氟丁二烯的纯化技术进展

• 作者: 吴高胜 张智勇 李瑜哲 艾波 许保云
• 来源期刊: 有机氟工业
• 关键词: 六氟丁二烯 蚀刻 纯化 性质 进展
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 25-29,52
• 页数: 6页
• 语种: 中文

摘要

六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻性能,且更加环保.简述了六氟丁二烯的物理性质、蚀刻特点和产品规范,详细介绍了国内外六氟丁二烯纯化技术的进展.