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摘要:
多晶硅生产需要通过排放尾气或者残液的形式排出影响产品纯度的杂质成分,来最终产品的品质,排放的废气大致可以分为:以氮气为主的废气、以氢气为主的废气、含有氯硅烷的废气和含有氢氟酸等酸性气体的废气.本文分别对目前这几类废气的处理措施和利用技术进行了介绍,以期为相关企业提供参考,实现多晶硅生产排放废气的分类回收利用.
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文献信息
篇名 多晶硅生产中废气的分类回收利用
来源期刊 中国有色冶金 学科 地球科学
关键词 多晶硅 废气 分类回收 循环利用
年,卷(期) 2020,(1) 所属期刊栏目 综合利用与环保
研究方向 页码范围 73-76
页数 4页 分类号 X781.5
字数 3348字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-6103.2020.01.019
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 姜利霞 15 24 3.0 4.0
2 张升学 12 14 3.0 3.0
3 郑红梅 7 9 2.0 3.0
4 石何武 9 17 2.0 4.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
废气
分类回收
循环利用
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国有色冶金
双月刊
1672-6103
11-5066/TF
16开
北京市复兴路12号
1972
chi
出版文献量(篇)
2904
总下载数(次)
10
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