ZnO/多孔硅复合薄膜的光学性能

• 作者: 倪惟一 端木庆铎
• 来源期刊: 应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 金属辅助化学刻蚀 溶胶–凝胶 光学性能
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TB3

摘要

采用金属辅助化学刻蚀(MACE)法制备不同的多孔硅衬底,溶胶–凝胶法以醋酸锌(Zn(CH3COO)2?2H2O)、无水乙醇作为前驱液制备ZnO/多孔硅复合薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)等手段,对ZnO/多孔硅复合薄膜的表面形貌、晶格结构、光学性能进行表征及分析,研究了不同衬底对ZnO/多孔硅复合薄膜形貌、结构及光学性能影响。研究结果表明刻蚀时间为20 min的复合薄膜结晶性更好,在可见光波段有很强的光致发光带,呈现白光发射。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	端木庆铎	长春理工大学理学院	56	241	8.0	12.0
2	倪惟一	长春理工大学理学院	1	0	0.0	0.0