用于浸渍阴极的钨海绵基体制备

• 作者: 刘燕文 张连正 朱虹 李芬 王小霞 田宏 石文奇 谷兵 赵恒帮 陆玉新
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波真空电子器件 浸渍阴极 钨海绵基体 真空加热
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 陶瓷专辑
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: TN105.1
• 字数: 3495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.05

摘要

微波真空电子器件广泛应用于卫星通信及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,这些器件需要电流发射稳定、蒸发小、寿命长的浸渍阴极,进而对浸渍阴极钨海绵基体制备工艺提出了很高要求.本文首先利用分级技术对钨粉进行了分级,制备出流动性好颗粒均匀的钨粉.采用气体纯化与检测系统,可以除掉氢气中残余的氧和水,使氢气的露点降至-90℃以下,为制备无氧化的钨海绵基体提供良好的烧结气氛.采用真空去铜技术,制备出表面非常光洁,没有任何污渍和杂质沉淀的阴极基体,利用X射线能量色散谱(EDX)分析了制备的阴极基体断面,结果表明新方法达到了传统化学去铜及再高温去铜后的效果,新方法更节省时间,更环保.通过调节烧结时间和烧结气氛可以制备出微波器件所需的孔度适宜、闭孔率低的阴极基体,为制备低蒸发、长寿命微波器件的阴极打下基础.