单电子晶体管的制备与表征

• 作者: 吴小宇 赵虎 李智
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: 单电子晶体管 双角度蒸发 约瑟夫森结 静电防护
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 页码范围: 97-102
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13380/j.ltpl.2020.02.006

摘要

单电子晶体管是一种非常重要的器件,在量子计算、电荷探测领域具有重要应用.由于其尺寸极小,很容易受到静电的影响导致损坏,并且对于测试条件要求苛刻,制备与观测较为困难.本文用双角度蒸发的方法制备了SET,在稀释制冷机的10 mK极低温度下,对SET的基本性能进行了测试和表征.针对制备、运输、测试以及安装的全流程提出了一整套静电防护方案.