氮化铝陶瓷的氧化机理研究

• 作者: 刘平 向军 李天涛 杨洁 陈弹蛋 陈欣 黄刚
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝陶瓷 氧化 金属化
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 陶瓷专辑
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TB756
• 字数: 4261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2020.01.02

摘要

本文研究了不同氧化处理下氮化铝陶瓷的氧化情况,并使用Mo-Mn法进行金属化,测试封接强度及气密性,从而探究氮化铝瓷的氧化机制,氮化铝基瓷与氧化层之间的结合.结果 表明:经过1100℃/1h高温氧化处理,氮化铝陶瓷表面几乎没有氧化.在1250℃/1 h、1250℃/2 h,表面生成了氧化铝,氧化层主晶相为AlN与Al2O3;在1 350℃/1 h下,氧化层主晶相为Al2O3;氧化层表面有明显的裂纹,均漏气.对不同处理后的氧化铝层表面进行Mo-Mn法金属化,当氧化层厚度较薄时,断裂发生在氧化层.氮化铝瓷与氧化铝层之间的结合机理可能是在两者之间产生了AlON等中间物,从而实现了氮化铝瓷与氧化层之间牢固的连接.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄刚	中国工程物理研究院流体物理研究所	26	108	6.0	9.0
2	刘平	中国工程物理研究院流体物理研究所	19	25	3.0	4.0
3	李天涛	中国工程物理研究院流体物理研究所	5	10	2.0	3.0
4	杨洁	中国工程物理研究院流体物理研究所	6	5	1.0	2.0
5	陈弹蛋	中国工程物理研究院流体物理研究所	4	4	1.0	2.0
6	陈欣	中国工程物理研究院流体物理研究所	3	3	1.0	1.0
7	向军	中国工程物理研究院流体物理研究所	3	3	1.0	1.0