MgO/Pd底层对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性及热稳定性的影响

• 作者: 刘帅 卢学鹏 息剑峰 李宝河 赵泽军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: CoSiB/Pd多层膜 反常霍尔效应 垂直磁各向异性 有效磁各向异性常数
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: O469
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000301

摘要

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备以MgO/Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品,研究MgO底层厚度t对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性(perpendicular magnetic anisotropy,PMA)的影响,分析具有MgO/Pd底层的多层膜的热稳定性.通过对样品的反常霍尔效应的测试分析发现,底层中引入MgO层能够提高其PMA性能,当t为3.5 nm时,样品的矩形度最好.对最佳样品MgO(3.5 nm)/Pd(3 nm)/[CoSiB(0.5 nm)/Pd(0.8 nm)]2/Ta(2 nm)的磁滞回线进行测试,其有效磁各向异性常数Keff达到2.0×105 J/m3.热稳定性分析发现,当退火温度为200℃时,样品的Keff达到最大值2.6×105 J/m3;当退火温度达到400℃时,样品仍能保持良好的PMA性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝河	北京工商大学理学院	43	158	6.0	9.0
2	刘帅	北京工商大学理学院	8	6	1.0	2.0
3	卢学鹏	北京工商大学理学院	2	1	1.0	1.0
4	息剑峰	北京工商大学理学院	2	1	1.0	1.0
5	赵泽军	北京工商大学理学院	1	0	0.0	0.0